爱德华罗茨真空泵维修点

　　爱德华(Edwards)罗茨真空泵作为高抽速、中高真空领域的关键设备，广泛应用于半导体、光伏、镀膜、化工及科研等领域。其结构紧凑、运行平稳，但长期在高负荷或复杂工艺环境下运行后，仍可能出现性能下降或机械故障。以下从专业维修角度，系统说明常见问题、维修流程及注意事项。

　　一、常见故障类型

　　机械类故障

　　转子卡死或异响：多因异物进入、润滑不良或轴承磨损导致;

　　振动异常：联轴器不对中、转子动平衡失衡或基础松动;

　　密封失效：轴封老化造成漏油或大气泄漏，影响极限真空。

　　性能类问题

　　抽速明显下降：同步齿轮磨损导致转子间隙增大，或前级泵匹配不足;

　　极限真空变差：返油、密封圈老化、气镇阀失效或系统泄漏;

　　启动困难或过载：电机故障、电源相序错误或负载过高。

　　辅助系统问题

　　冷却系统堵塞：水冷机型若水质不良，易结垢导致温升;

　　润滑油乳化或碳化：长期抽除水蒸气或高温运行未及时换油。

　　二、标准维修流程

　　故障诊断与记录

　　通过运行数据(电流、温度、振动、真空曲线)、听音判断及氦质谱检漏等手段，初步定位问题。记录泵的型号(如 EH150、EH2600、iVR 系列)、序列号、使用工况及历史维修情况。

　　安全拆解准备

　　断电并挂牌上锁(LOTO);

　　排空润滑油(如有);

　　确认泵腔内无有毒、腐蚀性残留气体;

　　拆卸联轴器防护罩、冷却水管及电气接线。

　　核心部件检查

　　转子与缸体：检查表面有无划痕、咬合痕迹，测量端面间隙与径向间隙;

　　同步齿轮：查看齿面磨损、点蚀或断齿，必要时成对更换;

　　轴承与轴封：检测游隙、润滑状态，轴封唇口是否硬化开裂;

　　油路与过滤器：清理油道，更换油滤及排气过滤器。

　　部件更换与装配

　　使用原厂或高兼容性备件(如 Edwards 原装轴封、FAG/NSK 轴承)，按技术手册规定的扭矩与对中精度重新装配。特别注意：

　　转子相位标记必须对齐;

　　联轴器同轴度误差应 ≤0.05 mm;

　　所有O型圈需涂抹真空脂防干磨。

　　测试与交付

　　空载试运行：监测噪音、温升、振动;

　　负载测试：连接前级泵，测量抽速与极限压力;

　　提供维修报告：含更换清单、测试数据及建议保养周期。

　　三、典型维修成本参考(2026年初市场)

　　故障类型小型泵(如 iVR30)中型泵(如 EH150)大型泵(如 EH2600)

　　常规保养(换油、滤芯、密封检查)800–1,500 元1,500–2,500 元2,500–4,000 元

　　轴封/轴承更换2,000–4,000 元3,500–6,000 元6,000–10,000 元

　　同步齿轮+转子修复5,000–8,000 元8,000–15,000 元15,000–25,000 元以上

　　注：价格不含差旅及税费，具体以实际检测为准。