真空镀膜机如何选配真空泵及注意事项

日期:2023-04-20 浏览:310
  • 真空镀膜机工作期间必须要配置真空泵,工件才能在需要的真空度条件下,进行镀膜。真空度是真空镀膜工艺的一个重要的参数,工件镀的膜层不一样,采用的镀膜工艺不一样,那么对真空度的要求也不一样。
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  • 一、产生、改善或维持真空的装置
  • 真空度分低真空,中真空,高真空,那么低真空、中真空、高真空各采用的真空泵类型是不一样的,如低真空,一般采用机械泵和旋片泵,中真空采用滑阀泵、罗茨泵,高真空采用扩散泵和分子泵。那么根据工件和镀制的膜层材料不一样,采用的镀膜工艺不同,那么各阶段真空镀采用的真空泵型号也不一样,以及真空泵数量也有区别。
  • 其中,低真空: 10E5~10E2 Pa,中真空:10E2~10E-1 Pa,高真空:10E-1~10E-5 Pa,超高真空: <10E-5 Pa。
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  • 二、真空镀膜机
  • 真空镀膜机包括蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、离子镀膜机和等离子化学沉积装置等。
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  • 三、为了更好的认识和选择真空镀膜机真空泵,我们必须要注意以下几点:
  • 1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若是工艺过程不支持,应选择无振动的泵或者采取防振动的一系列措施。
  • 2、了解被抽气体成分,气体中有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵的时候需要知道气体成分,针对被抽气体时需要选择相应的泵。若是气体中含有蒸气、颗粒以及腐蚀性的气体,需要考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备。
  • 3、真空泵在其工作压强下,可以排走真空设备工艺过程中产生的全部的气体量。
  • 4、正确地组合真空泵。有时选用一种泵不能满足抽气要求,由于真空泵有选择性抽气,需要几种泵组合相互补充才能满足抽气的要求。
  • 如:钛升华泵对氢有很高的抽速,但是不能进行抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的泵效,两者组合起来,则会使真空装置得到相应的真空度。此外,有的真空泵不可以在大气压力下工作,必须预真空泵:有的真空泵出入口压强小于大气压力,必须前面泵,故都必须把泵组成起來应用。
  • 5、真空设备对油污染的要求。若设备明确要求无油时,应该选用各种无油泵。
  • 如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等,如果要求不严格,可以选择有油泵,再加一些抗油环境污染对策,亦或者冷阱、障板、挡油阱等,也可以做到清理真空泵规定。
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  • 6、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内比较合适,而不能让它在25~30mmHg下长期的工作。
  • 当泵必须的空气压力不太高或需要的真空度不太高的情况下,可优先选择在单极泵中开展选择,渡过排气管工作压力或真空度的规定较高,单极泵通常不能符合要求,需要选择应用二级泵或是多级离心泵。
  • 如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在如此宽压强范畴内,泵的泵效随压强而转变,其平稳的工作压强范畴为5*10-4~5x10-6mmHg。因此,泵的工作点应当选在这个范畴以内,而不可以让它在10-8mmHg下长期性工作。又如钛提升泵能够在10-3mmHg下工作,但其工作压强应低于1x10-5mmHg为好。
  • 7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选择无油性真空泵,或者把油蒸气排到室外。
  • 8、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。
  • 如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,最好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
  • 9、最后就是考虑真空泵的初装价格、运转及维修费用了,结合实际情况选择性价比高的真空泵。
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